荷蘭商ASML收購漢微科, 預計第四季完成,屆時漢微科將在台股下櫃

荷蘭商ASML收購漢微科, 預計第四季完成,屆時漢微科將在台股下櫃

漢微科宣布,與ASML簽署股份轉換契約,ASML將以每股1410元收購漢微科全部流通在外股份,交易總金額達1000億元,這宗交易案預計今年第4季完成。漢微科董事長許金榮表示,屆時漢微科將在台股下櫃。

荷商艾司摩爾(ASML)將斥資新台幣1000億元收購漢微科,ASML認為,雙方量測技術將具互補效益,兩公司結合,將有利協助客戶強化製程控制並提高良率。

艾司摩爾公司(ASML Holding N.V.)是在荷蘭費爾德霍芬(Veldhoven)的半導體設備製造商。公司同時在歐洲和美國NASDAQ上市。在世界14個國家和地區有50個子公司和生產據點。艾司摩爾公司的主要產品是用來生產大規模積體電路的核心設備光刻機。在世界同類產品中有90%的市佔率。

ASML 1984年從荷蘭著名電子製造商飛利浦獨立,此後致力於大規模積體電路製造設備的研究和製造。目前市場上提供量產商用的光刻機廠商有三家:艾司摩爾,尼康(Nikon),佳能(Canon)。根據2007年的統計數據,在中高階光刻機市場,艾司摩爾公司佔據大約60%的市場市占率。而最高階市場(immersion),艾司摩爾公司大約目前佔據90%的市場市占率。不過,競爭對手尼康也在奮力追趕,主要優勢在於相對較低的價格。曝光機是高附加值產品,一台新的曝光機動輒3000至5000萬美元。但是研發週期長投入資金也相當巨大。艾司摩爾公司為半導體生產商提供光刻機及相關服務,目前全球絕大多數半導體生產廠商,都向ASML採購TWINSCAN機型,例如英特爾(Intel),三星(Samsung),海力士(Hynix),台積電(TSMC),聯電(UMC),格羅方德(GlobalFoundries)及其它台灣十二吋半導體廠。

漢微科在電子槍晶圓檢測的利基設備市場,佔了高達九成的市場

據說漢微科上櫃前,美商應用材料曾上門提親,要溢價十倍買下當時市值兩億美元的漢微科。營收比漢微科大上一百倍的科磊,也曾提過併購案。漢微科的電子槍可以看到一片晶圓上三奈米的缺陷,是一根頭髮的十萬分之三細。對手科磊的電子槍機台,只能看到五至十奈米。「那機台的鏡片,連艾司摩爾(ASML)、Nikon都打不贏,」在三.六億美元的晶圓檢測設備市場,電子槍技術市佔率約一○%至一五%,光學技術獨大。但隨著台積電、英特爾往十奈米,七奈米推進,電子槍在晶圓檢測市場的市佔率將顯著提升,五年內預估將突破兩成市佔。

ASML在與漢微科聯合新聞稿中指出,收購漢微科是為使先進技術與設備更加精進,透過雙方量測技術互補,將能協助客戶強化製程控制並提高良率。

隨著半導體製程技術不斷推進,10奈米以下及3D立體結構製程的製程技術及良率控制難度提高,需高密度、高解析度的量測技術,測量及控制半導體元件效能。立體半導體製程也需要高密度、高電壓反差的量測,控制立體結構產品性能。

漢微科多年專注高解析度及電壓反差成像電子束產品及應用開發,位居電子束檢測設備龍頭,核心技術將可增加ASML包括微影曝光系統、運算微影及量測等全方位微影技術解決方案。

漢微科電子束量測技術可針對2D及3D圖案進行清楚的成像,ASML可藉此成像強化設計及製程模擬模型,有助ASML曝光機調整至最適狀態。

此外,漢微科在電子束檢測極紫光外光(EUV)應用於辨識光罩缺陷領域也具領導地位,未來也將有助提升ASML極紫光外微影系統平台效能。

出處:中央社
作者:張建中

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